EDX-7000/8000能量色散X射線分析儀的X射線管發出X射線照耀樣品，樣品中所含的原子則向外發射原子才有的X射線。這種X射線被稱為熒光X射線，各元素具有特定的波長（能量）。因此，經過檢測X射線的波長就可以進行定性分析。別的，熒光X射線的強度與濃度具有函數關系，檢測每個元素X射線特征波長的X射線量就能進行定量分析。

 

　　EDX-7000/8000能量色散X射線分析是確認物質中微量元素的品種和含量的一種辦法，又稱X射線次級發射光譜分析，是運用原級X射線光子或其它微觀粒子激起待測物質中的原子，使之產生次級的特征X射線(X光熒光)而進行物質成分分析和化學態研討。

 

　　EDX-7000/8000能量色散X射線分析儀用X射線照耀試樣時，試樣可以被激起出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長(或能量）分開，別離測量不同波長(或能量）的X射線的強度，以進行定性和定量分析，為此運用的儀器也叫X射線熒光光譜儀。

 

　　原子結構由原子核及核外電子組成，每個核外電子都以特定的能量在固定軌道上運行。當能量高于原子內層電子結合能的高能X射線與原子發生磕碰時，驅逐一個內層電子(如:K層)而出現一個空穴，使整個原子結構處于不穩定狀態，較外層電子(如:L層)就會自發地躍遷到內層來填充這個空穴。不同殼層之間存在能量差(如:LE=EL-EK)，當躍遷過程中能量差以二次X射線的方式開釋出來時就可以發射特征X射線熒光。

 

　　每一種元素都有其特定波長（或能量）的特征X射線。由Moseley定律可知，元素的熒光X射線的波長(λ）隨元素的原子序數(Z)添加，有規則地向短波方向移動。上式中K、S為常數，隨譜系(L、K、M、N)而定。經過測定樣品中熒光X射線的波長，就可以確認樣品中元素的品種信息。這便是X射線熒光光譜定性分析。

 

　　元素特征X射線的強度與該元素在樣品中的原子數量成比例。經過測量樣品中某種元素熒光X射線的強度，采用適當的辦法進行校準與校正，就可以求出該元素在樣品中的百分含量。這便是X射線熒光光譜定量分析。